狭缝
用途：用于限束
说明：结构简单，安装方便、一个安装口可实现一对驱动装置的安装，双刀狭缝可实现任意的缝宽要求；电机编码器、电子尺位置监测，双限位保护，可实现在线、离线功能。
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机械参数 |
安装法兰 |
CF100、CF200等刀口法兰 |
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行程 |
非标定制 |
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重复定位精度 |
0.1mm |
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限位: |
机械限位+光电限位 |
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中心距 |
中心距200、250、300mm 或非标定制 |
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双电机 |
伺服电机/步进电机 |
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靶头材料 |
304、Cu、316等 |
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冷却 |
水冷/非水冷 |
3.2单边狭缝
用途：用于限束、发射度测量等；
说明：结构简单，安装方便、一对狭缝可实现不同缝宽对束流的扫描；电机编码器、电子尺位置监测，双限位保护，可实现在线、离线功能。狭缝挡板有不锈钢、无氧铜、钽铜复合板等不同选择，钽铜复合板可以实现对高功率束流的限束和阻挡（10KW级）。
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安装法兰 |
CF100/CF150/CF200等 |
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行程 |
60mm/125mm/150mm |
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位置精度 |
0.5mm |
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重复定位精度 |
0.1mm |
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限位: |
机械限位+光电限位 |
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中心距 |
中心距200、250、300mm |
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电机 |
伺服电机/步进电机 |
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靶头材料 |
304、Cu、316等 |
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漏率 |
<5×10-8 PaL/s |
安装示意图
3.3固定缝宽狭缝
用途：用于限束、发射度测量等；
优点：固定缝宽，狭缝最小可达50um，精度高；电机编码器、电子尺位置监测，双限位保护，可实现在线、离线功能。
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机械部分 |
安装法兰 |
CF100、CF200等刀口法兰 |
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行程 |
≥200mm |
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位置精度 |
0.5mm |
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重复定位精度 |
0.1mm |
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限位: |
机械限位+光电限位 |
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中心距 |
中心距200、250、300mm |
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电机 |
AKM 21C或其他 |
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靶头材料 |
304、cu、316L等 |
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缝宽 |
50um-2mm
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固定缝宽狭缝
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