低能电子枪及电子束平台

用途：产生电子束流，用于实验室测试，能量<200keV，流强<100mA。其它参数要求，请联系客服。

原理：通过加热阴极产生电子束，然后通过高压引出，再经过聚焦成形，得到特定需求的电子束。可选配脉冲电子束调制模块，用于产生脉冲电子束；扫描电子束模块，用于实现低能大面积电子束辐照。

电子枪*

电子枪束斑及发射度测量

不同类型的电子束平台

电子束平台主要由高压系统、真空系统、磁铁系统、束测系统、控制系统等子系统构成。

其中，高压系统负责给电子枪阴极加一定高压，将电子束引出并加速。真空系统由机械泵、分子泵和真空计组成。机械泵和分子泵用于保持束流管道内高真空，真空计测量束流管道内的真空度。束测探针包括法拉第筒和荧光靶，分别用于测量束流参数，包括流强大小、束斑位置和束斑剖面。磁铁系统包括聚焦线圈、校正磁铁、扫描线圈（根据需要安装）等。完成束流的聚焦散焦，校正束流偏心以及扫描的功能。控制系统由控制设备、控制机柜、服务器以及计算机组成。电子束平台各个部件的控制元件放置在控制机柜内（高压控制除外），例如真空泵控制器、束测探针控制器、磁铁电源等等。整个控制系统运行在EPICS上。

控制系统界面

电子束平台控制软件界面，包括阴极控制、束测控制和采集、螺线管电流控制等。

终端电子束束斑（荧光靶）、流强（法拉第筒）